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Vue d'ensemble
G茅nie chimique : Description of the plasma state and parameters, plasma generation methods, and of the related process control and instrumentation. Electrical breakdown in gases and a series of discharge models are covered. Plasma processing applications such as PVD, PECVD, plasma polymerisation and etching, environmental applications, nanoparticle synthesis, spraying and sterilization are treated.
Trimestres : Ce cours n鈥檈st pas au programme de l鈥檃nn茅e universitaire 2011-2012.
Charg茅s de cours : Aucun professeur n鈥檈st associ茅 脿 ce cours pour l鈥檃nn茅e universitaire 2011-2012.